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An UHV box coater for VUV reflective coatings on mirror substrates of up to 95 cm in diameter

Signatur NL 292/0562
Gegenstand Publikation Sonderdruck (1)
Verfasser Bergmaier, Andreas
Dollinger, Günther
Friese, Jürgen
Karsch, Stefan
Kienle, Paul
Körner, Hans Joachim
Maier-Komor, Peter
Titel An UHV box coater for VUV reflective coatings on mirror substrates of up to 95 cm in diameter
Enthält Am Physik-Department der Technischen Universität München entstandene Studie
Orte Amsterdam
Laufzeit 09.1997
Umfang 5 Bl. gedr.
Fachgebiet Physik. Atom-, Kern- und Elementarteilchen-Physik <310.07>
Weitere Informationen Publiziert in: Nuclear instruments and methods in physics research A 397, Nr. 1, S. 194-199
Formalangaben Sprachen: Englisch
Rechtehinweis CC BY-SA 4.0
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